日本新宇宙半导体材料气体检测仪
特点
● 小型·轻量
● 可以检查非常微量的气体泄漏
● *适合氢气相关设备的保安
● 搭载的泵有自动停止功能
● 搭载[自动气体排气模式]功能
● 保护等级约为IP22（JIS C 0920）※安装皮套时
02.产品用途
● 半导体工厂/石油化学工厂等
● 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
日本新宇宙半导体材料气体检测仪
产品参数
型号 | XP-703DⅢ |
检测对象气体 | H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3 |
检测原理 | **型半导体式 |
采集方式 | 自动吸引式 |
可检测泄漏量 | H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7 |
可检测浓度 | H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7 |
反应时间 | 10秒以内 |
显示方式 | 液晶数字（手动背景灯） |
电源（额定） | 5号碱性干电池（LR6） 2节 |
电池使用时间※1 | 约12小时（5号碱性干电池、25℃时） |
保护等级※2 | 相当于IP22※3 |
使用压力范围 | 大气压（800～1100kpa） |
使用温湿度范围 | 0～40℃/85%RH以下（但不能结露） |
外形尺寸 | W38×H130×D32㎜（突出部分除外） |
重量 | 约190g（包括电池、皮套） |
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