洁净室测试时所处的状态
ISO-14644标准遵循多年来对洁净室所处状态或占用情况分类的惯例,仍将洁净室所处状态分为三类。测试工作可根据不同需要或供需双方的协议,决定在洁净室何种占用情况下进行。
这三类洁净室所处状态或占用情况如下:
空态
设施齐备的洁净室,所有管线接通并运行,但无生产设备、材料及生产人员。
静态
已全部建成的设施齐备的洁净室中,安装完生产设备并按业主和供应商商定的方法试运行,但场内并没有生产人员。
动态
设施处于按规定方式运行的状态,并有规定的人员在场以规定的方式工作。ISO-14644-3对于各个项目的测试,宜处于洁净室的何种状态未作规定。认为“测量可在空态、静态、动态任何一种状态下进行”,具体在何种状态在进行哪一个项目的测试,由供需双方议定。广东惠州精密电子洁净厂房检测