干式螺杆真空泵是由一对平行的螺旋状转子与泵体组成的一个工作室，经五轴联动复合加工中心加工的二个螺杆转子之间及其与泵体之间没有摩擦且保持一定的间隙，两个转子与泵体之间形成了多个密封腔，转子通过同比齿轮在泵壳中作同步高速反向旋转时，将各密封腔内的气体从进气端不断地推向排气端，而产生的吸气和排气作用的抽气设备。
螺杆泵工作腔为间隙密封，无润滑油，是环保型真空设备，因此干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体，极限真空高，消耗功率低，具有节能、降耗免维修等优点，特别在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有不可比拟的优越性。
螺杆真空泵是传统水环真空泵、水喷射真空泵、往复真空泵、滑阀真空泵、旋片式真空泵等真空泵的替代产品，该产品的升级换代可有效消除医药化工行业真空流程的污水排放，有利尾气溶剂回收，也可有效降低滑阀真空泵、旋片式真空泵的油蒸汽污染，降低设备维护成本。
螺杆真空泵性能特点
1.工作腔内无润滑油存在，可获得清洁真空
2.工作腔内无油气污染被抽气体，工艺性气体回收利用率高，尾气处理方便；同时也避免了油气和油烟等的排放，环境污染小。
3.工作腔内无润滑油存在，避免了因润滑油乳化、变质而出现的运行故障，提高了系统的稳定性，同时减少了泵润滑油的损耗。
4.泵适用范围广。泵工作腔及螺旋转子表面有防腐涂层，可适应恶劣的工况；
5.泵腔为间隙密封结构，对少量小颗粒粉尘不敏感，且泵腔直通，无中隔板结构，粉尘不易在泵腔内沉积；采用防爆配置时可用于抽除易燃易爆的气体。
6.泵工作时泵腔内温度可达到100℃以上，使可凝性气不易冷凝，且泵腔内为直通结构，排气口在泵腔底部，泵腔内的杂物容易排出，因此适宜抽取可凝性气体。
7.泵可单独使用，或者与罗茨泵、分子泵等组合成无油真空机组，作为机组的前级泵使用。单泵进气压力在1Pa至大气压均能正常工作，抽气效率高，可大大简化抽真空系统。
8.螺杆泵工作时需保持较高温度，且泵工作时外表面自然散热的效率相对提高，且冷却水与泵体温差大，冷却效果好，因此泵冷却水用量少，对冷却水的温度要求低。
9.的以螺旋方式将多级转子直接串联，联消了中隔板结构，无中间级吸排气过程，工作过程简单、连续，效率高，泵运行稳定性高。
10.泵腔内各零件采用间隙密封，零件间无接触摩擦存在，零件损耗小，寿命长；同时泵转速高，整机体积小。
11.螺杆泵结构简单，零件种类、数量少，维护方便。
12.启动快，启动电流小，启动时对电网的冲击小，启动后泵即达正常抽速。
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