参数种类 |
单参数 |
测定精度 |
0.1 |
测量范围 |
0-50 |
产地 |
国产 |
产品新旧 |
全新 |
分辨率 |
0.1 |
结构型式 |
在线式 |
使用校准液 |
抗蚀济液 |
探头型式 |
其他 |
显示方式 |
数显式 |
准确度 |
±0.1% |
自动化程度 |
全自动 |
MSDR-70HD型自动测量电子抗蚀剂浓度在线分析仪使用操作简单方便、维护量少、工作可靠;在线检测抗蚀剂浓度不受压力、流速、颜色、浑浊度,气泡,固体颗粒等杂质的影响。
电子抗蚀剂(Electron resist)是用于电子束曝光的一种抗蚀剂,属于高分子聚合物,其性能类似于光学曝光中的光致抗蚀剂,即辐照可使其产生化学或物理变化而形成图形。有正性电子抗蚀剂和负性电子抗蚀剂之分。一般,负性电子抗蚀剂的曝光灵敏度比正性电子抗蚀剂的要高得多,但正性电子抗蚀剂的分辨率要高于负性电子抗蚀剂。在我们的日常生活中,几乎不会直接看到抗蚀剂。但是,抗蚀剂在我们周围被广泛使用。比如电子电器产品的线路板、半导体、LCD(液晶)、印刷物上等。其用途主要是通过涂布形成保护膜,或防止短路。用来保护线路板的抗蚀剂多为绿色,单实际上抗蚀剂不但有绿色,其颜色多种多样。抗蚀剂之所以多种颜色,其目的并不限于设计性,还有其它实际用途,比如,隐藏线路板的配线,使回路设计保密等。
三联测控MSDR-70HD型自动测量电子抗蚀剂浓度在线分析仪是基于折光原理开发的一款高精度、高性价比的浓度测量仪器。采用全浇注玻璃钢外壳和全屏蔽钢板内壁设计,光电信号直接转换处理,使用操作简单方便、维护量少、工作可靠;在线检测抗蚀剂浓度不受压力、流速、颜色、浑浊度,气泡,固体颗粒等杂质的影响;浓度仪可直接安装于生产管线或罐体容器壁上,测量精度±0.1%,数据每5秒钟刷新一次,确保不漏掉每一个浓度数据变化,浓度检测值可现场显示,检测数据可通过4-20mA模拟信号或RS485通讯信号连接PLC或DCS进行自动化控制调节浓度,可减少了传统的人工化验分析的人工误差和系统误差,减轻了化验分析人员的工作强度,可显著节约人力资源。改变长期以来靠人工测量、人工记录、手工控制的粗放式生产管理方式,全面提高抗蚀剂浓度的稳定性。
MSDR-70HD型自动测量电子抗蚀剂浓度在线分析仪产品特点
1、出厂校准和自动温度补偿,直接投入使用,无需现场校准
2、在线连续检测,不再需要人工频繁取样检测,节省大量人力、财力
3、消除人工检测误差,保证抗蚀剂浓度稳定性
4、连续测量,迅速反馈,提升加工产品质量,提高生产效率
6、标配浓度信号模拟输岀,便于客户集成控制,提高自动化程度
7、不受抗蚀剂颜色、浑浊度、粘度、气泡,固体颗粒、纤维杂质等等的影响