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高纯度湿电子化学品过滤解决方案

阅读：1115 发布时间：2023/9/4

　　湿电子化学品，被称为微电子产业的“工业味精”，是重要的支撑材料之一，其品质直接影响电子产品的成品率、电性能及可靠性，也对先进制造技术的产业化有着深远的影响，具有较高的产品附加值和技术门槛。

　　湿电子化学品分类标准　

　　目前，我国的湿电子化学品通常执行SEMI国际标准，其关键技术指标包括单项金属杂质、非金属离子、颗粒数等，另外根据不同产品特点会相应增加其他一些技术指标。

　　按照SEMI等级的分类，湿电子化学品可划分为G1-G5五个等级。应用领域不同，对微电子化学品的纯度要求也有所不同。

　　湿电子化学品下游应用　

　　湿电子化学品下游主要应用领域包括半导体、显示面板及光伏等，终端场景主要应用于电子信息产品，例如智能手机、智能电视、智能汽车、电脑等。湿电子化学品的三个主要应用领域对产品的等级要求有所不同：

　　半导体领域：纯度要求较高，基本集中在SEMIG3、G4、G5水平，我国的研发水平与国际尚存在较大差距。其中分立器件对超净高纯试剂纯度的要求要低于集成电路，基本集中在SEMIG2级水平，国内企业的生产技术能够满足大部分的生产需求；8英寸及以下晶圆制程的中低端领域要求达到 G3、G4 水平，大硅片及12英寸晶圆制程的部分高端领域要求达到G5等级。

　　平板显示和LED领域：等级要求为SEMIG2、G3水平，国内企业的生产技术能够满足大部分的生产需求。

　　光伏太阳能电池领域：一般只需要SEMIG1级水平，是目前国产超净高纯试剂的主要市场。

　　湿电子化学品工艺流程　

　　电子湿化学品的主要工艺流程包括原料接收、纯化、吸收、混配等工艺，制得的成品包装入包装桶或槽车中，检验合格后入库。湿电子化学品对纯度和洁净度要求很高，在生产、检测、包装、运输各环节均有严格要求，其中的纯化技术更是关键点，直接影响产品品质。

　　湿电子化学品品种众多，产品制备工艺、设备要求各不相同，需根据不同品种特性确定工艺路线。提纯工艺段主要采用蒸馏、亚沸蒸馏、等温蒸馏、减压蒸馏以及升华、化学处理、气体吸收等技术，分离金属杂质。采用超微过滤器(PTFE膜)过滤除去颗粒性杂质。结合不同的颗粒、金属杂质、非金属杂质分析测试技术以达到相应标准的洁净度。