ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机烧毁原因

元器件高低温测试装置在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中，IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在温度（-85℃至+ 250℃）下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机烧毁原因

型号		AES-4535  AES-4535W	AES-6035  AES-6035W	AES-8035  AES-8035W	AES-A1035W	AES-A1235W
温度范围		-45℃～225℃	-60℃～225℃	-80℃～225℃	-100℃～225℃	-120℃～225℃
制冷量	-45℃	2.5kW
	-60℃		2kW
	-80℃			1.5kW
	-100℃				1.2kW
	-120℃					1.2kW
温控精度		±0.5℃	±0.5℃	±1℃	±1℃	±1℃
温度转换时间		-25℃ to 150℃ 约10S 150℃to  -25℃ 约20s	-45℃ to 150℃ 约10S 150℃to  -45℃ 约20s	-55℃ to 150℃ 约10S 150℃to  -55℃ 约15s	-70℃ to 150℃ 约10S 150℃to  -70℃ 约20s	-80℃ to 150℃ 约11S 150℃to  -80℃ 约20s
空气要求		空气滤清器<5um 空气含油量:<0.1ppm 空气温湿度：5℃～32℃  0～50%RH
空气处理能力		7m³/h ～ 25m³/h  压力5bar～7.6bar
系统压力显示		制冷系统压力采用指针式压力表实现（高压、低压） 循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器		西门子PLC，模糊PID控制算法
温度控制		控制出风口温度
可编程		可编制10条程序，每条程序可编制10段步骤
通信协议		以太网接口TCP/IP协议
设备内部温度反馈		设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度（水冷设备有）
温度反馈		T型温度传感器
压缩机		法国泰康/艾默生
蒸发器		套管式换热器
加热器		法兰式桶状加热器
制冷附件		丹佛斯/艾默生配件（干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀）
操作面板		无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示EXCEL 数据导出
安全防护		具有自我诊断功能；相序断相保护器、冷冻机过载保护；高压压力开关，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
制冷剂		冠亚混合制冷剂
外接保温软管		方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸（风）cm		54*69*132	54*69*132	75*73*133	80*120*185	100*150*185
外型尺寸（水）cm		54*69*132	54*69*132	75*73*133	70*100*175	80*120*185
风冷型		采用铜管铝翅片冷凝方式，冷凝风机采用德国EBM轴流风机
水冷型 W		带W型号为水冷型
水冷冷凝器		板式换热器（务必确保冷却水清洁）
冷却水量 at 25℃		0.6m³/h G3/8	1.2m³/h G3/4	1.6m³/h G1	2.6m³/h G1	3m³/h G1
电源 50HZ max		3.7kW 220V	5kW 220V	5kW 220V	6.8kW 220V	7.5kW 220V
电源		可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外壳材质		冷轧板喷塑 （标准颜色7035）
温度扩展		高温到 +300℃

 

ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机烧毁原因

ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机烧毁原因

　　1、ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机频繁启动

　　如果ICP刻蚀机配套冷却循环水机器温度设置不当，制冷温度过低，制热温度过高，这时造成ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机频繁开关机，将缩短ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机寿命。

　　2、ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机电压不稳

　　电源电压质量不好如电压过高或过低，都对ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机电机有不良影响，尤其是超出ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机额定电压范围使用，为不当，长期运转使ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机电机处于低效过热状态，造成绝缘不良，电机绕组烧毁。

　　3、压缩机烧毁后制冷系统没有清理干净

对曾经有压缩机烧毁故障的ICP刻蚀机配套冷却循环水机制冷系统，一定要把制冷系统清理*，ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机电机烧毁时会有强酸产生并在系统中驻留，如没有处理干净，当新的ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机电机运转后，残留物质会腐蚀ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机。

　　4、铜管系统清洁度不够

　　其中含有水份，水份也会导致ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩电机绝缘不良；水份和冷媒及冷冻油在系统中循环，经高温和低温等状态变化，会产生酸性物质，进而会破坏马达的绝缘层，工作时间一长，ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机电机就会烧毁。

　　5、压缩机冷却不良

　　回气温度太高或回气量偏低，使压缩机电机线圈冷却不足。对风冷热泵机组这种情况较多发生，而且回气温度过高也会导致排气温度过高，造成一系列ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机问题出现。

　　6、压缩机启动接触器故障

接触器触点电阻过大或烧结，造成ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机电机短路烧毁，或线路接触不良，启动电流大很容易烧毁ICP刻蚀机配套冷却循环水机压缩机。